半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
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该各个企业的公司为世界十大遥遥领先的半导体材料测封各个企业的公司,坐落珠角形区县,其主要展开舒适电源芯片的划区和封装类型检查。伴随位置健康规定非常严格,各个企业的公司影响使用废水除理0排放出水利工程。业务于22年无法,2024年6月建设完工投入使用,除理的规模为200吨/日,总进行投资约2000亿元。
化工废水的成分及起源
本项必要性划区生活污水兼备下例优缺点:
高盐质量浓度氟化物,主要存在晶圆切后的擦洗制作工序,氟铁离子盐质量浓度超过150-200mg/L
包含的納米级硅粉顆粒,孔径多在100-500nm内
有机化学用电负荷较高,COD在500-800mg/L
含有氢化物发生器巨资属如铅、镉等
导电率高,大部分在2000-3000μS/cm
工作新工艺程序图
为保持零污染物最终目标,加工制作工艺 设定关键遵循污水的分类分类整理和资原回收处理:
焦化废水分类整理采集系統
:将含氟工业生活污水与另一个工业生活污水隔开收集整理
物理化学悠长岁月中除氟
:适用两极钙盐悠长岁月中法,搞好团结高效化悠长岁月中池
高阶钝化进行处理
:老化促使钝化化学降解难正确处理充分物
膜溶缩程序
:用于DTRO碟管式ro反渗透工作会更,精提陪数为10倍
汽化凝结
:MVR机戒蒸汽式再压解多效冷凝器办理浓水
烘干系统软件
:将沉淀盐干燥的后作鑫霖环保副车辆外售
处里效果好
装置运作数值提示 :
氟化物出掉率>99.9%,喷水氟阳离子<1mg/L
COD总清理率>98%,留水COD<20mg/L
水资原回收并率>95%,仅带来几瓶心得盐
一年可回笼高品质高质量质量回收水约七万之吨
析出盐含量以达到化工业级规定,体现資源化再生利用
该项目不只构建了生活污水零的排放,还在自然资源收废创造者了约80百万元/年的加倍理财收益。