半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备中高档首测相互配套涉重生产废水——MVR二次反复零排的项目
该项目环境
半导一个测封工作,投资额150立米米/天,是首届半导测封服务设施涉重废水处理工艺处理工艺零排工作。测封关键点的镀镍、镀铜、引线方框除污会造成含镍含铜废水处理工艺处理工艺,园林规范要求"无尾水外排",产水所有的回收于产线。
土质特证与要点
废液以含镍作为主(含量10–100毫克/升),伴一少部分铜、锌,pH浮动大(2–12),还是有光刻胶留下的一少部分充分物。公测厂地点紧,规范要求解决油烟净化器征地赔偿小;零排意思着浓水无法运输非常多,须得本土减压蒸馏析出闭环控制。
治疗制作工艺路线图
布局走"分质收集整理 → 预整理除杂 → 物理石雕文化沉淀除镍 → 滤出 → UF+有级RO → MVR二次循环往复减压蒸馏 → 冷却水水使用":
含镍线先调pH到10–11,加药氢空气防氧化钠合成Ni(OH)₂水解,后加加硫钠的深度捕集器多余镍(加硫镍Ksp比氢空气防氧化镍更小,也能镍压到0.1毫克/升下面的);
结晶溢水经多材质过虑+联防队员过虑后进UF,再进1级RO,产水真接回产线的洗涤;
RO浓水(含盐+残存血本属)进MVR强行重复多效蒸发掉器,强行重复能扛高含盐水垢,多效蒸发掉器原有在线上洗,容易堵;
MVR冷凝器水离开回收池子,蒸馏残液委外填埋或做危废处理处里,整工厂无液体外排。
关键点机械特点反映
MVR强行间歇对比平民降膜挥发器器,间歇风速高、传热系数面很不容易结镍盐/碳酸盐垢,时候公测这般"发电量不太大但水质量杂"的3d场景;集成化撬装制作征占比过去挥发器器塘+多效挥发器器细则小60%不低于;其它异常的味道侧模块化生物体滤池,把调低池和污水间的其它异常的味道获取后可降解成CO₂和水,不要公测厂毗邻办工区的其它异常的味道客户投诉。
补救郊果与效率
出水出水镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,相对比较《电镀锌破坏物污染物条件》表三;全部150万m³/天产水循环于首测产线清洁工作,替代品等量新鮮水;危险废物(蒸发器残液+活性污泥)量比传统性"乳浊液+污染物"基本模式减约70%。对富士康侧,首测工程环保标准分级管理卡点刻上通;